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              新材料 電子特氣系統

                工信部網站于2018年9月29日發布了關于《重點新材料首批次應用示范指導目錄(2018版)》的公告。相較于2017版高純氯氣、三氯氫硅和鍺烷三種電子特氣,本次指導目錄(2018版)達15種之多,也是本次發布數量最多的一個品類。

                電子特氣的重要性

                有人把電子特氣比喻成電子工業的糧食,也有人把它比喻成集成電路的腦細胞,這都說明了電子特氣對于電子工業的重要性。

                新材料電子特氣系統是什么

                電子特氣系統工程分氣源部分(特氣柜GC)、配管部分(一般用雙套管)、二次配部分(氣體分配柜VMB)、自動切換(自動切換氣瓶)、監督控制部分(氣體管理系統GMS)幾部分

              新材料電子特氣柜

                新材料電子特氣系統特點

              特氣柜.jpg

                單臺電子特氣系統設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;多臺設備用PLC或TGO連起來,監控報警系統可以與安監系統、消防系統對接。

                深圳蓋斯帕克長期致力于電子特氣系統工程的服務,公司自有經驗豐富的、專業的安裝工程服務團隊與專業的設計團隊,成功開發設計有自主專利的特氣柜GC、氣體分配柜VMB、氣體管理系統GMS,已成功安裝于諸多高等院??蒲惺遗c半導體企業,且目前運行良好。


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